CIF 紫外臭氧清洗機（UV-Ozone）

紫外臭氧清洗機（UVO），是一種簡單，經濟，快速高效的材料表面清洗設備，能快速去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。

CIF 紫外臭氧清洗機采用長壽命 UV 石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺高度可調并可選加熱控溫，以便達到很佳清洗效果。

產品特點

? 可編程數字控制器，設置操作簡單方便，四鍵操作控制。

? 數字倒計時顯示清洗時間，1-999 分鐘之間可自行設置清洗時間。

? 任何時間可以手動中斷處理過程。

? 自動記錄之前清洗參數設置。

? 樣品臺可控溫（可選），控溫范圍 RT-260℃，控溫精度 0.1℃。

? 上置式樣品臺設計，360 度自由放置樣品，操作方便。

? 樣品臺高度可調，通過調節燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，位置可鎖定。

? UV 石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為 8000 小時。

? 高強度 UV 燈源，波長 185nm 和 254nm。

? UV 反射罩（長 X 寬）比 UV 格柵燈大 2.5cm，比如規格為 13x13cm，格柵燈反射罩尺寸大于 15×15cm。

? 雙重安全保護，當清洗腔打開時，系統安全鎖會關掉 UV 燈，并有燈光通斷提示。

? 帶進&出氣口雙氣路設計，可接入氧氣，增加臭氧產量。

? 可選臭氧中和器，用于臭氧清除。

? 可根據客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。

注：UVO 型基礎型樣品臺不帶加熱功能，樣品臺高度不可調；UVOP 可選配樣品臺加熱功能，樣品臺高度

可調；UVOT 標配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調。