Samco紫外線臭氧清洗機產(chǎn)品系列介紹

Samco提供多種uv-臭氧清洗機的研發(fā)和生產(chǎn)。Samco的系統(tǒng)配備了階段加熱和臭氧發(fā)生器，與傳統(tǒng)的紫外線臭氧清洗機相比，實現(xiàn)了卓越的工藝性能。

緊湊的桌面紫外線臭氧清洗機是有用的樣品制備在空間有限的實驗室設(shè)施。Samco的開負(fù)載uv-臭氧系統(tǒng)能夠處理300毫米的晶圓，并且與一般的等離子清洗相比，該工具具有低物理離子和充電損傷的優(yōu)點。對于生產(chǎn)客戶，盒式到盒式系統(tǒng)是可用的。

UV-1, UV-2和UV-300是緊湊和簡單的紫外線臭氧清洗機，可以適應(yīng)各種基材形狀和尺寸。占地面積小的系統(tǒng)易于操作，并使用紫外線輻射，臭氧和熱量的獨特組合來溫和而有效地從各種襯底中去除有機材料，包括硅，砷化鎵，藍(lán)寶石，金屬，陶瓷，石英和玻璃。

該系統(tǒng)非常適合各種應(yīng)用，如基材清潔，光刻膠去除，潤濕性改善，表面改性和紫外線固化。通過在大氣壓下操作，UV-1, UV-2和UV-300消除了對笨重，高維護(hù)，真空系統(tǒng)的需要，并且不會損壞脆弱的電子設(shè)備。

UV-300H是一個300毫米紫外線臭氧系統(tǒng)，包括桌面系統(tǒng)的所有功能。基材通過滑動抽屜裝載到系統(tǒng)中，工作臺和臭氧歧管之間的間隙可手動調(diào)節(jié)，從1到11毫米，以優(yōu)化工藝。

這種高性能裝置提供高達(dá)500nm/min的光刻膠灰化速率，并包括許多安全功能，以保護(hù)操作人員和系統(tǒng)。UV-300H在大氣壓力下工作，不需要單獨的真空系統(tǒng)。

隨著處理量需求的增加，UV-300HC是一種全自動卡帶系統(tǒng)，包括一個280毫米級的uv-臭氧室，大氣機器人和兩個卡帶。盒式磁帶可以配置為單個晶圓高達(dá)200mm或使用托盤批量操作。與UV-300H一樣，工作臺和臭氧歧管之間的間隙可手動調(diào)節(jié)，從1到11毫米，以優(yōu)化過程。

選項包括冷卻和加熱階段，以提高吞吐量。

Samco uv-臭氧清洗機可用于設(shè)備制造，材料科學(xué)，生物化學(xué)和分子生物學(xué)研究中的許多類型的應(yīng)用。

表面清洗

設(shè)備包裝引線框架和鍵合墊清潔

表面改性

表面活化

潤濕性調(diào)制

附著力提高

表面氧化(薄氧化層沉積)

去除有機污染

光刻膠灰化

光刻膠的UV固化、除氣和硬烘

光致抗蝕劑預(yù)處理

AFM針尖的清潔

石英晶體微平衡(QCM)傳感器的表面清洗

表面等離子體共振(SPR)芯片的清洗

UV交聯(lián)聚合物和光抗蝕劑